目前,絕大多數的電聲脈沖法(pulsed electro- acoustic method,PEA)空間電荷測量裝置均使用 β相的聚偏氟乙烯(polyvinylidene fluoride,PVDF)有機聚合物薄膜作為壓電傳感器。在溫度低于 90℃時,PVDF 才能保持其壓電性能穩定。在 70℃~90℃范圍內,其壓電應變常數(d33)隨溫度升高反而減小。因此,現有的絕大多數空間電荷測量只在 70℃以內進行。日本武藏工業大學Tatsuo Takada教授的課題組采用過鈮酸鋰(LiNbO3)壓電元件,開發了適用于高溫(可高達150℃)時 PEA 法空間電荷測量裝置。由于加工工藝和成本的限制,目前很難獲得厚度小于50μm 的LiNbO3 壓電晶片。除日本外,其他地方還未見采用 LiNbO3傳感器的 PEA 法空間電荷測量系統。與 PVDF 等有機聚合物傳感器相比,雖然無機晶體LiNbO3 適用溫度高,并且聲波透射系數大(以鋁板作為下電極時),但是壓電電壓常數小、性能綜合評價系數低、難加工成很薄的壓電晶片。本文選擇新型耐高溫共聚物壓電傳感器、重新設計電極系統,開發了適用于高溫