HCVP-2/4/6高低溫真空探針臺
高低溫真空探針臺
探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），有效的扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品特點及應(yīng)用
極低溫測試
高溫無氧化測試
尺寸：2英寸/4英寸/6英寸；
觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸；
真空度：10^-6 torr ；
水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；
樣品固定：彈簧壓片；觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸；
真空度：10^-6 torr ；
探針臂接口：4~6個探針臂接口；
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口；
制冷方式：液氮/液氦/制冷機；
溫度范圍：77K-573K/4.5K-573K；
溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K；
穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K；
尺寸：880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高；
設(shè)備重量：約100/120KG；
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動行程：水平360°旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動行程：水平360°旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；
X-Y-Z移動行程：50mm*50mm*50mm；
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)；移動精度：10μm/1μm；線纜：同軸線/三軸線/射頻線；
漏電精度：10pA/100fA/10fA；
固定探針：彈簧固定/管狀固定；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；
頻率支持：DC-67GHZ ；
針尖直徑：0.5μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
真空組件：分子泵組/機械泵/離子泵；
冷源組件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機；超高溫配件；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
高壓測試配件；
分子泵組；
激光系統(tǒng)；
氣敏測試配件；
◆ 2~6英寸樣品臺；
◆ 高真空腔體；
◆ 防輻射屏設(shè)計，樣品溫度均勻性更好；
◆ 77K-675K高低溫環(huán)境；
◆ 兼容IV/CV/RF測試；
◆ 外置多探針臂，移動行程大；
◆ 經(jīng)濟實用，可無縫升級。
◆ 臺體規(guī)格
◆ 光學系統(tǒng)
◆ 定位器
◆ 其他組件
◆ 可選附件
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