Huace-8綜合性分析探針臺
綜合性分析探針臺
探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品特點及應(yīng)用
尺寸：8英寸/12英寸；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；
針座平臺：U型針座平臺，最多可放置10個探針座；
平臺升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm；
設(shè)備重量：約40/60KG；
水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；
X-Y移動行程：8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；
X-Y移動精度：10μm/1μm；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；
針座平臺：U型針座平臺，最多可放置10個探針座；
平臺升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm；
背電極測試：樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極；
尺寸：840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高；設(shè)備重量：約40/60KG；
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360°旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360°旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素；
X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm；
移動精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
線纜：同軸線/三軸線；
移動精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
線纜：同軸線/三軸線；
漏電精度：10pA/100fA/10fA；
固定探針：彈簧固定/管狀固定；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；
加熱臺；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學(xué)平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；
激光系統(tǒng)；
探針卡夾具；
◆ 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試；
◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動；
◆ 大手柄驅(qū)動，操作舒適，無回程差設(shè)計；
◆ 針座平臺快速、微調(diào)升降功能；
◆ 可搭配多種類型顯微鏡；
◆ 晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等；
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計，可無縫升級；
◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
◆ 臺體規(guī)格
◆ 光學(xué)系統(tǒng)
◆ 定位器
◆ 可選附件
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