Huace-8D雙面探針臺
雙面探針臺
探針臺是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），有效的扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試，用于需要正面和背面同時扎針，以實現各種光/電性能測試需求的測試設備。該定制探針臺具有優良的機械系統，穩定的結構，符合人體工程學，以及多項升級功能。可廣泛應用于集成電路、Wafer ， LED、LCD、太陽能電池等行業的制造和研究領域。
技術參數
臺體配件技術參數
chuck尺寸：8英寸；
樣品臺Z軸調節：可升降10mm；
卡盤結構：普通/高溫/帶背電極等結構卡可選擇；
水平旋轉：可360°旋轉，細調精度不大于0.1°，帶角度鎖死裝置；
X-Y移動行程：8英寸×8英寸；
X-Y移動精度：10μm/1μm可選；
樣品臺Z軸調節：可升降10mm；
樣品固定：樣品夾定，尺寸可調；真空吸附固定，卡盤多圈吸附環可獨立控制；
雙面點陣平臺：氣動升降平臺升起為雙平臺，落下可做單平臺使用；平臺針座數量：單平臺至多放置8個CB-200針座；卡盤結構：普通/高溫/帶背電極等結構卡可選擇；
溫度范圍：RT~300℃（400℃、500℃可選）；
溫控精度：0.1℃；
溫控穩定性：±1℃；
溫控傳感器：100Ω鉑電阻傳感器；
溫控精度：0.1℃；
溫控穩定性：±1℃；
溫控傳感器：100Ω鉑電阻傳感器；
CCD：200W/500W/1200W像素可選（正反面）；
顯微鏡類型：單筒/體視/金相顯微鏡可選；
放大倍率：16X-100X/20X-2000X ；
顯微鏡調節：水平方向繞立柱旋轉X-Y移動2×2英寸，Z軸行程50.8mm；
顯微鏡類型：單筒/體視/金相顯微鏡可選；
放大倍率：16X-100X/20X-2000X ；
顯微鏡調節：水平方向繞立柱旋轉X-Y移動2×2英寸，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環形光源/同軸光源；
屏蔽箱；
高壓測試配件；
光學防震桌；
射頻測試配件；
鍍金卡盤；
轉接頭；
探針卡夾具；
其他；
高壓測試配件；
光學防震桌；
射頻測試配件；
鍍金卡盤；
轉接頭；
探針卡夾具；
其他；
顯微鏡類型：L型單筒顯微鏡；
連續變倍率：6.3 : 1；
放大倍率范圍：0.75-5X；
連續變倍率：6.3 : 1；
放大倍率范圍：0.75-5X；
放大倍率：315X（計算公式：變焦*CCD*顯示器） ；
顯微鏡調節：萬向移動 ；
光源：同軸光源 ；
X-Y-Z移動行程：12*12*12mm；
移動精度：10/2/0.7/0.5/0.35μm可選；
固定方式：磁力吸附/真空吸附可選；
移動精度：10/2/0.7/0.5/0.35μm可選；
固定方式：磁力吸附/真空吸附可選；
線纜：同軸線/三軸線可選；
漏電精度：10pA/100fA ；
接頭類型：BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子等可選；
漏電精度：10pA/100fA ；
接頭類型：BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子等可選；
材質：鎢鋼/鈹銅可選；
針尖直徑：0.2/1/2/5/10/20/50/100um可選；
針尖直徑：0.2/1/2/5/10/20/50/100um可選；
◆ 臺體規格
◆ 溫控系統
◆ 正面光學系統
◆ 探針可選配件
◆ 背面光學系統
◆ 探針座
◆ 探針夾具
◆ 探針
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