Huace-6中端探針臺(tái)
中端探針臺(tái)
探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），有效的扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用
尺寸：4英寸/6英寸/8英寸；
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)：可升降10mm；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；
針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，至多可放置6個(gè)探針座；
背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極；
外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高；
設(shè)備重量：約40/60KG；
水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；
X-Y移動(dòng)行程：4英寸×4英寸/6英寸×6英寸；
X-Y移動(dòng)精度：10μm/1μm；
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)：可升降10mm；
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)；
針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，至多可放置6個(gè)探針座；
背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極；
外形尺寸：400mm長(zhǎng)*400mm寬*600mm高/580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高；
設(shè)備重量：約40/60KG；
顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm；
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源；
CCD：200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素；
X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm；
移動(dòng)精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附，真空吸附；
線纜：同軸線/三軸線；
移動(dòng)精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附，真空吸附；
線纜：同軸線/三軸線；
漏電精度：10pA/100fA/10fA；
固定探針：彈簧固定/管狀固定；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子；
針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅；
加熱臺(tái)；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測(cè)試配件；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測(cè)試配件；
屏蔽箱；
光學(xué)平臺(tái)；
鍍金卡盤；
光電測(cè)試配件；
鍍金卡盤；
光電測(cè)試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；
激光系統(tǒng)；
探針卡夾具；
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等；
◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試；
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)；
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)；
◆ 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用。
◆ 臺(tái)體規(guī)格
◆ 光學(xué)系統(tǒng)
◆ 定位器
◆ 可選附件
|
|
