電遷移評估系統-AME系列測量方案
隨著半導體器件小型化的發展，在嚴苛惡劣的條件下評估電遷移變得至關重要。
AEM 系列電遷移評估系統提供基于溫度和電流應力（影響設備使用壽命的兩個主要因素）的準確測量，以及用于確定判斷設備壽命所需參數的分析軟件。
AEM 系列旨在實現從嚴苛評估到生產管理的廣泛評估需求，提供增強的可操作性、可靠性和簡化的數據分析。
AEM 系列電遷移評估系統提供基于溫度和電流應力（影響設備使用壽命的兩個主要因素）的準確測量，以及用于確定判斷設備壽命所需參數的分析軟件。
AEM 系列旨在實現從嚴苛評估到生產管理的廣泛評估需求，提供增強的可操作性、可靠性和簡化的數據分析。
350°C 下的電遷移評估
表現
效用
軟件
分析軟件
規格
系統變化
系統框圖
配件
選項
安全設備
監控畫面
條件設定畫面
40通道評估測試一個柜子里有超過3個烤箱
連接板
高達 350°C 的精度高的溫度控制
四種測試模式
電流應力應用高達200mA
高可靠性雙觸點板結構
2個通道 (DUT) = 1個插座5個插座 = 1個DUT板8個DUT板 = 1個烤箱
3個烤箱 = 1個櫥柜至多80個通道或DU可以在單個烤箱中進行測試，使其240每個機柜的頻道。主機PC，但是，至多可以控制 1,200 個通道或五個滿載的機柜。
3個烤箱 = 1個櫥柜至多80個通道或DU可以在單個烤箱中進行測試，使其240每個機柜的頻道。主機PC，但是，至多可以控制 1,200 個通道或五個滿載的機柜。
監控屏幕可以提供有關DUT的測試進度、電阻和變化率的實時信息。
可為每個 DUT 配置電氣參數和時間設置。還可以配置溫度特性測試參數和壓力測試溫度設置。
即使使用具有不同引腳布局的DUT，引腳分配加擾功能也可以評估 ESPEC DUT 板。
該烤箱能夠測試高達 350°C 的溫度，并在 300°C 時提供 ±3.5°C 的精度高的溫度分布。每個烤箱都配有一個單獨的控制器，用于單獨的溫度設置。
AEM 系列能夠通過在施加溫度和電流時測量電阻來執行四種不同的測試：電遷移、應力遷移、溫度特性 (TCR) 和擠壓。
AEM 系列能夠施加 0.1 mA 和 200 mA 之間的應力電流。
DUT 板和插座連接具有雙觸點結構，可實現更牢固的固定。 ESPEC 的專有設計還可以防止 DUT 斷開連接。這種結構設計**了在高溫下長期評估的較高可靠性。
被測板
尺寸：220（寬）×465（高）×460（深）mm
重量：約 1.6 公斤。
重量：約 1.6 公斤。
銅鑲嵌的可靠性問題
銅大馬士革具有低電阻和高可靠性的優點，但是當受到熱應力時，連接多層布線的通孔結構中會出現多種現象。
安全須知
?不要使用易爆或易燃的樣品，或其中含有此類物質。這樣做可能是危險的，因為這可能導致火災或爆炸。
?樣品中積聚在水箱或排氣管中的蒸汽管道可能會著火并引起火災，因此設備注意要定期清潔。滲入并積聚在設備絕緣層可能導致很嚴重的火災。
主機電腦
?主機PC
軟件：視窗操作系統
測試設置和測試監控管理和數據分析
?不間斷電源
對于主機 PC
? DUT 板（每個烤箱 8 個板）
? 安裝 CD
? 用戶手冊
? 電阻檢查板（1塊）? 被測板
? ＋350°C應用模型（與標準附件相同）
? ＋250°C應用模型（DIP28pin/600mil）
? 電阻檢查板
? 統計軟件附加許可證
? 溫度記錄儀（100mm6點型）
? 無紙記錄儀（外置式）
? N2 進氣孔
? 降壓變壓器（外置式）
? 漏電斷路器
? 高低溫限報警
? 斷線檢測電路
? 獨立式過熱保護器
? 斷線檢測電路
? 獨立式過熱保護器
? 使用看門狗定時器檢測PC凍結
? 3級狀態指示燈
? 緊急停止開關（測試單元）
烤箱單元
?烤箱
溫度范圍：+65 至 +350°C
?連接板
用于DUT板連接包括DUT引腳加擾功能。
測試單元
?電磁模塊
用于DUT功率控制和DUT電阻測量每通道1個恒定電源測試設置和測試監控管理和數據分析
?用于測量的 PC測量數據聚合和測量控制
?不間斷電源
測量用電腦
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